弊社は半導体最先端プロセスに関わる生産・研究・開発用途の各種SEMI規格のシリコンウェハーをご提供致します。
優勢
| Quality 品質 | 最高の品質で一貫した安定性能のウェハーを供給致します。 |
|---|---|
| Low price 低価格 | 豊富な取り扱い量により低コストを実現しております。 |
| Date of delivery 納期管理 | 定期便で最短納期に中国大手シリコンメーカーから直接輸入し納品致します。 |
| Secure supply chain 信頼できるサプライチェーン | 指定販売代理会社として、中国大手シリコンメーカーと強固な信頼関係を構築しております。
|
| Extensive product offering 豊富な取り扱い製品 | FZ・CZシリコンウェハ、ポリッシュドウェハ、エピタキシャルウェハ、ダミーウェハなど広範囲にございます。 |
| Flexible response 柔軟な対応 | お客様のニーズによって、特殊仕様ウェハ、少量多品種にも対応を可能です。 |
製品情報
① FZ単結晶シリコン（フローティングゾーン法）
FZは浮遊帯(Floating Zone)を意味し、棒状多結晶シリコンの下に種結晶をつけ、誘導加熱で種結晶と多結晶シリコンの境界あたりを融解し単結晶化していく方法です。高純度でかつ炭素及び酸素の不純度が極めて低いウェハになります。
| TYPE | 伝導型 | Orientation | 直径(mm) | 抵抗率（Ω･cm) |
| 高抵抗 | N＆P | 〈100〉＆〈111〉 | 76.2－200 | ＞1000 |
| NTD | N＆P | 〈100〉＆〈111〉 | 76.2－200 | 30-800 |
| CFZ | N＆P | 〈100〉＆〈111〉 | 76.2－200 | 1-50 |
| GD | N＆P | 〈100〉＆〈111〉 | 76.2－200 | 0.01-300 |
②CZ単結晶シリコン(チョクラリスキー法)
直管熱システムに組み込まれ、黒鉛抵抗で加熱され、高純度石英るつぼに含まれるポリシリコンを溶融し、溶融物の表面に種結晶を挿入して溶接します。 その後、回転する種結晶を下げて溶かします。 身体は浸透して触れられ、徐々に持ち上げられ、ネッキング、ネッキング、ショルダー、等径制御、仕上げのステップを経て仕上げまたは引っ張られます。
| TYPE | 伝導型 | Orientation | 直径(mm) | 抵抗率（Ω･cm) |
| CZ | N＆P | 〈100〉（110〉〈111〉 | 76.2－200 | 1-100 |
| MCZ | N＆P | 〈100〉（110〉〈111〉 | 76.2－200 | 1-100 |
| へビ-ド-ピング HD | N＆P | 〈100〉＆〈111〉 | 76.2－200 | 0.001-1 |
③ポリッシュドウェハ-
| パラメータ | 単位 | FZ規格 | CZ | |||
| へビ-ド-ピング 規格 |
ド-ピング 規格 |
|||||
| 直径 | mm | 200 | 200 | 300 | 200 | 300 |
| 厚み | um | 400-1000 | 400-1000 | 775±20 | 400-1000 | 775±20 |
| TTV | um | ≤5 | ≤5 | ≤1 | ≤5 | ≤1 |
| STIR (20×20mm3 26×33mm3） |
um | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | ≤0.5 | ≤0.2 |
| Bow | um | ≤30 | ≤30 | ≤10 | ≤30 | ≤10 |
| Warp | um | ≤40 | ≤40 | ≤20 | ≤40 | ≤20 |
| Graininess 0.037um | ea | – | – | – | – | ≤50 |
| Graininess 0.065um | ea | – | – | – | ≤20 | ≤10 |
| Graininess 0.090um | ea | – | – | ≤30 | – | ≤5 |
| Graininess 0.12um | ea | ≤30 | ≤30 | ≤10 | ≤10 | – |
| Graininess 0.20um | ea | ≤15 | ≤15 | – | ≤5 | – |
| Surface metaｌ | atoms/cm2 | ≤1E10 | ≤1E10 | ≤1E9 | ≤1E10 | ≤1E9 |
| TYPE/サイズ・厚み | 4INCH | 5INCH | 6INCH | 8INCH | 12INCH |
| アズカットウェハー | 厚みがお客様のニーズによって、公差±10um | – | |||
| ラップドウェハー | 厚みがお客様のニーズによって、公差±5um | – | |||
| エッチドウェハー | （500-1100）±7um | – | |||
| 片面ミラーウェハー | （200-1000）±15um | （300-1000）±15um | （400-1000）±15um | – | |
| 両面ミラーウェハー | （200-1000）±15um | （300-1000）±15um | （400-1000）±15um | 775±25um | |
※他のウェハーも取り扱い、是非ご相談下さい。
